當物體受力之後產生本身外型改變，當此同時會產生應力。但這樣的應力會隨時間遞減，這樣的特性可以反應材料的彈性。
動作說明
- 探頭向下碰觸樣品之後(Trigger point)，儀器自動量測樣品高度，並根據這個高度計算形變目標。
- 探頭到達所定義的形變目標(Target)。
- 鬆弛(hold)時間由使用者設定(此時探頭不移動)。
- 探頭返回原起始點(End point)。
下壓
測試開始時，探頭向下移動(1)，直到觸碰樣品。觸碰樣品之後，儀器自動記錄此點高度，作為樣品高度。此時探頭繼續向下移動(探頭進入樣品)，直到目標距離(2)。目標距離可以設定為實際距離、應變、力，等三種形式。探頭停止動作，維持在原來位置(4)，持續時間可以由使用者自行設定。最後探頭往上回到原始起點位置(3)。
上拉
測試開始時，探頭向上移動，直到到達指定力時(2)。儀器自動記錄此點高度，作為樣品高度。此時探頭繼續向上移動(樣品開始拉長)，直到目標距離。目標距離可以設定為實際距離、應變、力，等三種形式。探頭停止動作，維持在原來位置(4)，持續時間可以由使用者自行設定。最後探頭往下回到原始起點位置(3)。
